中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等离子体低温掺杂膜沉积系统采购项目公开招标公告

　　中国仪器进出口集团有限公司受中国科学院长春光学精密机械与物理研究所委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等离子体低温掺杂膜沉积系统采购项目进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等离子体低温掺杂膜沉积系统采购项目

项目编号：0709-194035614002

项目联系方式：

项目联系人：张经理、陶经理

项目联系电话：010-88317223

采购单位联系方式：

采购单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

地址：吉林省长春市东南湖大路3888号

联系方式：李老师 0431-86176888

代理机构联系方式：

代理机构：中国仪器进出口集团有限公司

代理机构联系人：张经理 010-88317223

代理机构地址： 北京市西外大街6号中仪大厦416室

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：

项目名称：等离子体低温掺杂膜沉积系统

数量：1套

简要规格描述：

*2.4 上、下电极： 铝制上电极，可加热到最高300度；铝制下电极，上面放置石英盖板，可处理4英寸样品，可加热到最高350度。 *2.5射频源： 射频源包括射频发生器、并配置自动匹配单元，采用阴极匹配方式（Cathode coupled）以实现更高的沉积速率，下电极连接射频源，频率13.56 MHz，功率≥ 300 W；反射功率小于5W。 *2.6 气路系统： （1）气体管路：不少于五路气体管路，包括SiH4,NH3,N2,O2,CF4等工艺气体；每路气路均配有质量流量计MFC、颗粒过滤器和气动截止阀； （2）液体管路；配置TEOS液体tank并加满TEOS液态源，304不锈钢制，容量大于等于700ml；tank带加热系统，可以加热到75~85度；管路配置相应的质量流量计MFC，金属密封，VCR接头；tank具有过热保护功能； （3）Ge参杂工艺管路：配置TMG液体tank并加满TMG液态源，304不锈钢制，容量大于等于700ml；tank带加热系统，可以加热到75~85度；管路配置响应的质量流量计MFC，金属密封，VCR接头；tank并且具有过热保护功能。

二、投标人的资格要求：

投标人应具备的资格或业绩:投标人应具备的资格或业绩：1 投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组织均不得参加投标。 2 除非另有规定，凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区(以下简称“合格来源国/地区”)的法人或其他组织均可投标。 3 与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人或其他组织不得参加投标。 4 接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加受托项目的投标，也不得为该项目的投标人编制投标文件或者提供咨询。 5 单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一招标项目包投标。 6 本项目不接受联合体投标。 7 只有在法律上和财务上独立、合法运作并独立于招标人和招标机构的供货人才能参加投标。 8 投标人应当于招标文件载明的投标截止时间前在中国国际招标网（以下简称“招标网”，网址：http://www.chinabidding.com）成功注册（免费）。否则，投标人将不能进入招标程序，由此产生的后果由其自行承担。 9 投标人必须是所投设备生产、系统集成与销售的合法企业，可以是独立制造厂商或制造厂商授权的总代理；如为代理商，须提供制造商针对本项目及产品的授权书原件。 10 投标人必须从招标代理机构获得招标文件并登记备案，否则不能参加本次招标。 11 本项目不允许转包、分包。 12 投标人须在法律和财务上独立、合法运作并独立于招标人和招标代理机构，不得直接或间接地与招标人为本项目所委托的咨询公司或其附属机构有任何关联； 13 投标人须承诺（承诺函格式自拟，须加盖投标人公章），招标人在其本国使用投标人提供的货物时，不存在任何已知的不合法的情形，也不存在任何已知的与第三方专利权、著作权、商标权或工业设计权相关的任何争议；如果有任何因招标人使用投标人提供的货物而提起的侵权指控，投标人依法承担全部责任。 14 投标人的投标不符合法律、法规或招标文件中规定的其他实质性要求的，其投标将被否决或按无效投标处理。 注：投标人须持满足以上资格要求的全部原件及复印件加盖公章到我司购买招标文件。

三、招标文件的发售时间及地点等：

预算金额：200.0 万元（人民币）

时间：2019年06月10日 09:30至2019年06月17日 16:00(双休日及法定节假日除外)

地点：北京市西城区西直门外大街6号中仪大厦416

招标文件售价：￥800.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

招标文件获取方式：现场购买

四、投标截止时间：2019年07月02日 09:00

五、开标时间：2019年07月02日 09:00

六、开标地点：

吉林省长春市东南湖大路3888号中国科学院长春光学精密机械与物理研究所专家公寓三楼会议室

七、其它补充事宜

本项目招标公告发布媒介为中国国际招标网（机电产品招标投标电子交易平台），招标信息同步至中国政府采购网、中国招标投标公共服务平台。

八、采购项目需要落实的政府采购政策：

1.政府采购货物服务电子招标投标、政府采购货物中的进口机电产品招标投标有关特殊事宜，由财政部另行规定

2.采购人采购进口产品的，应当同时遵守国家其他有关法律法规的规定。涉及进口机电产品招标投标的，应当按照国际招标有关办法执行