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| 货号： | SNE-3200M |
| 规格： | 1台 |
| 电子光学系统 | 分辨率 | 15nm (30kV, 二次电子成像) 20nm（30kV, 背散射电子成像)） |
| 放大倍率 | 20x~60,000x | |
| 加速电压 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
| 探测器 | 二次电子探测器（SE） 背散射电子探测器（BSE） | |
| 电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
| 载台系统 | 载台运动 | 3轴系统 (X, Y, R) X, Y-轴: 35mm / R-轴: 360° * 影像偏移 : ±150μm |
| 最大样品尺寸 | 70mm（Φ）*30mm（H） | |
| 成像系统 | 自动功能 | 自动启动，自动聚焦，自动消像散，自动调节对比与亮度 |
| 图像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
| 真空系统 | 真空模式 | 高&低真空 |
| 真空泵 | 旋转式机械泵/涡轮式分子泵（全自动） | |
| 尺寸与重量 | 主机 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg |
| 控制单元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg | |
| 旋转泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
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