货号: | AB1511 |
保修期: | 1年 |
供应商: | 东莞昱和仪器设备有限公司 |
现货供应二手OLYMPUS MX61显微镜 联系电话:13544714339杨生
产品介绍。
MX61L
产品特点:
半导体检查显微镜200mm/300mm晶圆FPD检查显微镜
• 大型载物台搭载: 300mm晶圆全面检查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利
• 多种观察方式 多种照明方式 多种附件以满足不同应用要求
• 反射光照明
型号 | MX61L型显微镜 | |
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正光学系统) | |
显微镜镜体 | 射光照明(F.N. 26.5) | 12V100W卤素灯泡(预定心型) 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组(选配) ,转换使用 内置电动孔径光阑(每个物镜可预设,物镜转换时自动转换,暗视场观测时自动打开) |
观测方法 | ||
①反射光明视场法;②反射光暗视场法;③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法;④反射光简单偏振法;⑤反射光荧光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明视场法;⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。 | ||
观察镜筒 | 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型 其它:超宽场三目镜筒/宽场双目镜筒 | 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的标准配置) |
换镜转盘 | 电动五孔明/暗视野法用转盘,配备滑槽用于微分干涉衬比法观测:U-D5BDREMC型 | |
载物台 | MSS-300A:12寸*12寸,行程:356×305mm 原装日本中央精机2轴电动平台,可以进行XY轴同时联动。 带12寸晶圆载物台板。 | |
内置反射光源:100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz | ||
能耗 | ||
体积/重量 | 体积:约710(宽)×843(长)×507(高)mm 重量:约51kg(载物台约重31kg) |