微电子和半导体用检验系统 DM3 XL
在微电子和半导体行业中,检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快,您做出响应的速度也就越快。
视场宽敞 30%
DM3 XL 检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷,提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜,视场宽敞 30%。
更多细节尽收眼底,工作更高效
看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件,DM3 XL 提供独特的宏观物镜。
利用 0.7x 放大倍率,它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。
在宏观物镜下,缺陷无所遁形:
- 提高您的收益率
- 可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域
- 检测不均匀的径向膜厚度
- 在所有亮度等级下实现真彩色成像
- 自由调节
- 无需更换灯泡 – 无停机时间
- 可复制的结果
不同样品 – 可变载物台插件
无论您想要检验的样品是哪种类型,尺寸如何,均有种类丰富的载物台插件供您选择:
- 载物台尺寸:150 mm x 150 mm
- 载物台插件:金属插件、晶片支座或掩模支座
- 快速的粗略或精准载物台定位