热门搜索： 生物  基因  癌症  基因检测  蛋白质  基因测序,  精准医疗,  NGS,  肿瘤  测序中国, 
首页 > 资讯 >

中科院微电子所阻变存储器集成应用研究获进展

2017-12-22来源：中国科学院微电子研究所 阅读量：15101
0
　　中国科学院微电子研究所刘明团队在1Mb 28nm嵌入式阻变存储器测试芯片以及8层堆叠的高密度三维阻变存储器阵列研究方面取得新进展。
　　以RRAM和MRAM为代表的新型存储器被认为是28nm及后续工艺节点中嵌入式存储的主要解决方案。刘明团队在RRAM方向具有长达10年的研究积累，于2015年开始联合中芯国际、国网智芯等单位，以产学研合作方式共同推进RRAM的实用化。经过两年多的努力，在中芯国际28nm平台上完成了工艺流程的开发与验证，并在此基础上设计实现了规模为1Mb的测试芯片。
　　
(a)28nm RRAM 1Mb芯片版图；(b)28nm RRAM单元TEM界面图
　　垂直结构的高密度三维交叉阵列，结合了3D-Xpoint以及3D-NAND两种架构的优势，具有制备工艺简单，成本低廉以及集成密度高等优点。刘明团队在前期四层堆叠结构的基础上(IEDM 2015 10.2、VLSI 2016 8.4)实现了8层结构的设计，进一步验证了RRAM三维结构微缩至5nm以下的可能性。

8层堆叠RRAM截面图
　　相关研究成果分别以 BEOL Based RRAM with One Extra-mask for Low Cost, Highly Reliable Embedded Application in 28 nm Node and Beyond 和 8-Layers 3D Vertical RRAM with Excellent Scalability towards Storage Class Memory Applications 为题在2017年国际电子器件大会上进行了汇报发言。
　　(原标题：微电子所阻变存储器集成应用研究获进展)
（本文来源：中国科学院微电子研究所，转载请注明出处）

我要评论

表情

所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。


i

习惯用手机看资讯？

扫描进入手机站

一键筛选来浏览

信息更精准

今日要闻

更多

往期回顾


推荐展会

更多
2019第八届中国（上海）国际粉体材料

2019第八届中国（上海）国际粉体材料

推荐专题

更多
315专题活动_蚂蚁淘

315专题活动_蚂蚁淘

热门供应

仪器设备库 生化试剂库 免疫抗体库 耗材配件库 技术服务库 书籍资料库
网站首页 | 关于我们 | 联系方式 | 使用协议 | 版权隐私 | 网站地图  |  排名推广  |  广告服务  |  积分换礼  |  网站留言  |  RSS订阅  |  违规举报
 
免责声明：本站有部分内容来自互联网，如无意中侵犯了某个媒体 、公司 、企业或个人等的知识产权，请来电或致函告之，本网站将在规定时间内给予删除等相关处理。