所有分类
| 类别 | 项目范围 |
| 先进传感器 | 高性能硅压力、加速度、角速度传感器前沿技术（基础前沿技术类） |
| 基于量子效应的微纳传感器前沿技术（基础前沿技术类） | |
| 无线无源微纳传感器前沿技术（基础前沿技术类） | |
| 微纳传感器与电路协同设计技术及设计工具（共性关键技术类） | |
| 微纳传感器与电路单片集成工艺技术及平台（共性关键技术类） | |
| 圆片级真空封装及其测试技术与平台（共性关键技术类） | |
| 高温硅压力传感器关键技术及应用（示范应用类） | |
| 单片集成多轴传感器关键技术及应用（示范应用类） | |
| 无线红外高温微纳传感器关键技术及应用（示范应用类） | |
| 运动部件壁面温度微纳传感器关键技术及应用（示范应用类） | |
| 仪器仪表 | 基于语义交互集成的仪器仪表新型体系架构（基础前沿技术类） |
| 微弱电信号精密检测及高速数据处理技术（基础前沿技术类） | |
| 基于量子效应的仪表原位标校技术（基础前沿技术类） | |
| 面向恶劣环境的仪器仪表可靠性设计及验证技术（共性关键技术类） | |
| 高性能真空监测仪表（示范应用类） | |
| 汽车关键部件装配缺陷视觉检测仪（示范应用类） | |
| 特种工况实时在线测量仪表（示范应用类） | |
| 高性能特种控制阀（示范应用类） |
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。
我要评论